क्वार्टज़ भाग

सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग में क्वार्ट्ज का उपयोग आज भी व्यापक रूप से होता है। यह नया नहीं है, बल्कि विश्वसनीय है और अधिकांश निर्माण संयंत्र इसके व्यवहार से परिचित हैं। शुद्धता नियंत्रण बनाए रखने पर, यह डिफ्यूजन, ऑक्सीकरण और सफाई प्रक्रियाओं में अच्छा प्रदर्शन करता है।

क्वार्ट्ज के कई पुर्जे फर्नेस सिस्टम या PECVD टूल्स में इस्तेमाल होते हैं। मुख्य अपेक्षा स्थिरता की होती है - जरूरी नहीं कि लंबी उम्र हो, बल्कि अनुमानित प्रदर्शन की। यह आमतौर पर कई मानक प्रक्रियाओं के लिए पर्याप्त होता है।

बेशक, क्वार्ट्ज की भी अपनी सीमाएं हैं। कुछ खास परिस्थितियों में यह SiC की तुलना में जल्दी घिस सकता है। लेकिन चूंकि यह आसानी से उपलब्ध है और बहुत महंगा भी नहीं है, इसलिए लोग इसका काफी उपयोग करते हैं।