SiC एपिटैक्सी के लिए 8-इंच SiC लेपित ग्रेफाइट रिंग

सामग्री और भौतिक विशेषताएँ

सेमीक्सलैब की SiC लेपित ग्रेफाइट रिंग, आधार सामग्री के रूप में आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट से निर्मित होती है, जिसके बाद एक समान रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) SiC कोटिंग की जाती है। यह अनूठी संरचना, कठोर प्रक्रिया परिस्थितियों के प्रति शक्ति, सटीकता और प्रतिरोध का संतुलन प्रदान करती है।

SiC एपिटैक्सी प्रक्रिया में अनुप्रयोग

SiC एपिटैक्सियल वृद्धि प्रक्रिया में, SiC लेपित ग्रेफाइट रिंग, MOCVD या CVD अभिक्रिया कक्ष के अंदर वेफर, ससेप्टर और अन्य ग्रेफाइट भागों के बीच एक संरचनात्मक और कार्यात्मक इंटरफ़ेस घटक के रूप में कार्य करता है। इसका प्रदर्शन एपिटैक्सियल परत की गुणवत्ता, फिल्म की एकरूपता और समग्र रिएक्टर स्थिरता को सीधे प्रभावित करता है - ये सभी उच्च-उपज वाले SiC पावर उपकरण निर्माण के लिए महत्वपूर्ण पैरामीटर हैं।

1. वेफर समर्थन और संरेखण

ग्रेफाइट रिंग को उच्च तापमान वाले एपिटैक्सियल निक्षेपण के दौरान सटीक वेफर केंद्रीकरण और सुरक्षित स्थान सुनिश्चित करने के लिए सटीक रूप से मशीनीकृत किया गया है। तापीय भार के तहत इसकी आयामी स्थिरता सही वेफर संरेखण बनाए रखती है और किनारों को मुड़ने से रोकती है, जिससे वेफर सतह पर परतों का निरंतर विकास सुनिश्चित होता है।

2. समान तापीय वितरण

SiC एपिटेक्सी के दौरान, समरूप फिल्म मोटाई और डोपिंग सांद्रता प्राप्त करने के लिए पूरे वेफर में एक समान तापमान प्रवणता बनाए रखना आवश्यक है। SiC लेपित वलय, ससेप्टर और वेफर किनारे क्षेत्र के बीच ऊष्मा स्थानांतरण में सुधार करके, हॉट स्पॉट को कम करके और 1600°C से अधिक तापमान पर भी एक समान एपिटैक्सियल परत निर्माण सुनिश्चित करके तापीय भार संतुलन में सहायता करता है।

3. प्रक्रिया पर्यावरण संरक्षण

बिना लेपित ग्रेफाइट घटक H₂, SiH₄, और C₃H₈ जैसी गैसों वाले प्रतिक्रियाशील एपिटैक्सियल वातावरण में रासायनिक क्षरण और कण उत्सर्जन के प्रति संवेदनशील होते हैं। रिंग पर CVD SiC कोटिंग एक सुरक्षात्मक अवरोध के रूप में कार्य करती है, जो ग्रेफाइट सब्सट्रेट को संक्षारक गैसों से अलग करती है, जिससे अशुद्धता संदूषण कम होता है और कार्बन-आधारित कणों को विकास क्षेत्र में प्रवेश करने से रोका जाता है। इसके परिणामस्वरूप वेफर सतह की सफाई में सुधार होता है और उपकरण की उपज अधिक होती है।

4. एज इफेक्ट्स में कमी और गैस प्रवाह अनुकूलन

उन्नत 8-इंच SiC एपिटेक्सी प्रणालियों में, किनारों की एकरूपता अक्सर एक प्रमुख प्रक्रिया चुनौती होती है। SiC लेपित ग्रेफाइट रिंग, वेफर किनारे के पास लेमिनर गैस प्रवाह को स्थिर करने में मदद करती है, जिससे अशांत क्षेत्रों को रोका जा सकता है और एक नियंत्रित सीमा परत वातावरण सुनिश्चित होता है। यह अनुकूलित गैस प्रवाह वितरण, किनारों की एपिटैक्सियल मोटाई नियंत्रण में सुधार, सामग्री अपव्यय को कम करने और बड़े व्यास वाले वेफर्स पर भी उच्च-गुणवत्ता वाली परत जमाव सुनिश्चित करने में योगदान देता है।

5. एकाधिक रिएक्टर डिज़ाइनों के साथ संगतता

सेमीक्सलैब के SiC लेपित ग्रेफाइट रिंग्स को AIXTRON, Veeco और LPE जैसे प्रमुख एपिटैक्सिअल उपकरण ब्रांडों के साथ अनुकूलता के लिए डिज़ाइन किया गया है। रिंग्स को ज्यामिति, कोटिंग की मोटाई और इंटरफ़ेस संरचना में अनुकूलित किया जा सकता है ताकि रिएक्टर-विशिष्ट ससेप्टर असेंबली से सटीक रूप से मेल खाया जा सके, जिससे विभिन्न एपिटैक्सिअल प्लेटफ़ॉर्म पर निर्बाध एकीकरण और स्थिर प्रदर्शन संभव हो सके।

6. विस्तारित घटक जीवनकाल और प्रक्रिया विश्वसनीयता

आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट की उच्च यांत्रिक शक्ति और CVD SiC के असाधारण घिसाव प्रतिरोध के संयोजन से, लेपित रिंग दीर्घकालिक चक्रीय संचालन में उत्कृष्ट स्थायित्व प्रदर्शित करती है। यह सूक्ष्म दरारों, रासायनिक क्षरण और तापीय थकान का प्रतिरोध करती है, जिससे विस्तारित प्रक्रिया चक्रों में स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित होता है, जिससे उच्च-मात्रा वाली एपिटैक्सी उत्पादन लाइनों में रखरखाव की आवृत्ति और परिचालन लागत कम हो जाती है।

सेमीक्सलैब के लाभ

सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी और उन्नत सिरेमिक कोटिंग प्रौद्योगिकियों में दो दशकों से अधिक की विशेषज्ञता के साथ, सेमीक्सलैब उच्च शुद्धता वाले SiC घटकों के लिए व्यापक समाधान प्रदान करता है।

हमारे मुख्य लाभ:

●कस्टम विनिर्माण: विशिष्ट रिएक्टर डिजाइन (AIXTRON, Veeco, LPE, आदि) के अनुसार अनुकूलित आकार, कोटिंग मोटाई और ज्यामिति।

● नमूना समर्थन: मूल्यांकन और प्रक्रिया सत्यापन के लिए त्वरित प्रोटोटाइप और नमूना सेवा उपलब्ध है।

●तकनीकी परामर्श: अनुभवी इंजीनियर प्रदर्शन और दीर्घायु को अनुकूलित करने के लिए पूर्व-बिक्री और प्रक्रिया एकीकरण सलाह प्रदान करते हैं।

●गुणवत्ता आश्वासन: प्रत्येक घटक डिलीवरी से पहले सटीक निरीक्षण, कोटिंग मोटाई माप और उच्च तापमान परीक्षण से गुजरता है।