MOCVD SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर

1. जीवन 300%+ तक बढ़ गया

बफर परत प्रौद्योगिकी थर्मल शॉक चक्रों की संख्या को 5,000 गुना से अधिक (पारंपरिक उत्पादों के लिए 1,500 गुना से कम) करने में सक्षम बनाती है।

निरंतर प्रचालन तापमान 1650°C तक पहुंच सकता है, और कोटिंग में कोई दरार या छीलन नहीं दिखती।

2. शून्य प्रदूषण की गारंटी

SiC कोटिंग की शुद्धता 6N ग्रेड (धातु अशुद्धियों की कुल मात्रा < 0.5ppm) है।

सेमी मानक कण विमोचन परीक्षण (क्लास 10 स्वच्छता) उत्तीर्ण।

3. थर्मल क्षेत्र एकरूपता उन्नयन

आधार सतह पर तापमान अंतर ±2°C (Φ300mm विनिर्देश के लिए मापा गया डेटा) से कम है।

थर्मल विरूपण के बिना तेजी से हीटिंग (20 डिग्री सेल्सियस/सेकेंड) का समर्थन करता है।

4. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध

H2, NH3, और TMAl जैसी गैसों द्वारा संक्षारण के प्रति प्रतिरोधी, 18 महीने से अधिक की सेवा अवधि के साथ।

सतह खुरदरापन की परिवर्तन दर 5% से कम है (100 प्रक्रिया चक्रों के बाद परीक्षण किया गया)।

5. दुनिया भर में मुख्यधारा के मॉडलों के साथ संगत

50 से 500 मिमी तक के व्यास में अनुकूलन का समर्थन करता है।

6. पूर्ण जीवन चक्र लागत अनुकूलन

रखरखाव चक्र को नियमित उत्पादों की तुलना में तीन गुना तक बढ़ा दिया गया है।

एपिटैक्सियल वेफर्स की उपज दर में 2-3% की वृद्धि हुई है।

कंपनी की ताकत

Semixlab Technology Co.,Ltd के पास 2 R&D केंद्र, 2 उत्पादन आधार, 12 उत्पादन लाइनें, 150+ कर्मचारी हैं, और R&D निवेश 30% से अधिक है। हमारे उत्पाद लेआउट का उपयोग मुख्य रूप से LED, IC एकीकृत सर्किट, तीसरी पीढ़ी के सेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टिक और अन्य उद्योगों में किया जाता है। Semixlab में मजबूत R&D, उत्पादन और एकीकृत परीक्षण और सत्यापन क्षमताएं हैं। साथ ही, हम प्रति वर्ष करोड़ों के निवेश के साथ अपनी तकनीक और उपकरणों में लगातार सुधार कर रहे हैं।

प्रमुख प्रदर्शन मापदंड

परियोजना पैरामीटर

आधार सामग्री एसजीएल आइसोस्टेटिक प्रेस्ड ग्रेफाइट है

कोटिंग की मोटाई: 80-200μm (अनुकूलन योग्य)

कोटिंग की शुद्धता ≥99.9999% है

घनत्व: 1.85-1.90 ग्राम/सेमी³

तापीय चालकता: 125 W/m·K (RT)

फ्लेक्सुरल ताकत ≥45 एमपीए

परिचालन तापमान ≤1800°C (निष्क्रिय वातावरण)

गुणवत्ता आश्वासन प्रणाली

पूर्ण-प्रक्रिया ट्रेसिबिलिटी: ग्रेफाइट सब्सट्रेट से कोटिंग प्रक्रिया तक पूर्ण डेटा रिकॉर्डिंग।

परिशुद्धता जांच: एसईएम/ईडीएस कोटिंग विश्लेषण, हीलियम मास स्पेक्ट्रोमेट्री रिसाव का पता लगाना, उच्च तापमान थर्मल शॉक परीक्षण।

सीवीडी एसआईसी कोटिंग के मूल भौतिक गुण:

अनुप्रयोग परिदृश्य या उपकरण: Aixtron Epi उपकरण

मुख्य अनुप्रयोग परिदृश्य

● एलईडी चिप निर्माण: GaN नीला/सफेद एलईडी एपिटैक्सियल विकास।

● पावर सेमीकंडक्टर: SiC/GaN पावर डिवाइस (MOSFET, HEMT).

● 5G रेडियो आवृत्ति डिवाइस: उच्च आवृत्ति माइक्रोवेव रेडियो आवृत्ति चिप सब्सट्रेट।

● लेजर डायोड: वीसीएसईएल, एज-एमिटिंग लेजर एपीटैक्सियल प्रक्रिया।

● उन्नत पैकेजिंग: उच्च परिशुद्धता अर्धचालक पतली फिल्मों का जमाव।

सेमीकंडक्टर चिप एपिटैक्सी उद्योग श्रृंखला का अवलोकन: