MOCVD के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट हीटर

उत्पाद विवरण

SiC लेपित ग्रेफाइट MOCVD हीटर, SiC कोटिंग्स के उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोध के साथ ग्रेफाइट की उत्कृष्ट तापीय चालकता को जोड़ता है, और वेफर एपिटैक्सी विकास प्रक्रियाओं में स्थिरता और उच्च शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए धातु-कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (MOCVD) उपकरणों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

SiC लेपित ग्रेफाइट MOCVD हीटर उत्पाद विशेषताएँ

1. अति-उच्च शुद्धता और रासायनिक स्थिरता

शुद्धता ≥99.99995%: हमारा ग्रेफाइट हीटर CVD प्रक्रिया के माध्यम से उच्च तापमान क्लोरीनीकरण के तहत तैयार किया जाता है, जो प्रभावी रूप से धातु अशुद्धता संदूषण से बचाता है और अर्धचालक विनिर्माण में अल्ट्रा-स्वच्छ वातावरण की मांग को पूरा करता है।

रासायनिक संक्षारण रोधी: SiC कोटिंग की सघनता और उच्च कठोरता (विकर्स कठोरता 2500-2800) अम्ल, क्षार, लवण और कार्बनिक सॉल्वैंट्स के क्षरण का प्रतिरोध कर सकती है, जो संक्षारक गैस वातावरण में उपकरण के सेवा जीवन को लम्बा खींचती है।

2. उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध

उच्च तापमान स्थिरता: यह निष्क्रिय वातावरण में 3000 डिग्री सेल्सियस तक, वैक्यूम वातावरण में 2200 डिग्री सेल्सियस तक स्थिर संचालन और ऑक्सीकरण वातावरण में 1600-1700 डिग्री सेल्सियस तक का सामना कर सकता है, जो MOCVD प्रतिक्रिया कक्ष की चरम स्थितियों के लिए उपयुक्त है।

तापीय विस्तार का कम गुणांक (4.5 x 10-⁶K-¹): MOCVD ग्रेफाइट हीटर की यह विशेषता तापमान परिवर्तन के कारण कोटिंग के टूटने या छिलने को प्रभावी रूप से कम करती है, जिससे दीर्घकालिक तापीय चक्रण के तहत संरचनात्मक अखंडता सुनिश्चित होती है।

3. अनुकूलित थर्मल प्रबंधन प्रदर्शन

उच्च तापीय चालकता (200-300 W/mK): ग्रेफाइट MOCVD हीटर की उच्च तापीय चालकता यह निर्धारित करती है कि उत्पाद निरंतर वेफर सतह तापमान वितरण (±1°C) प्राप्त करने के लिए गर्मी को जल्दी और समान रूप से स्थानांतरित कर सकता है, जिससे प्रभावी रूप से एपिटैक्सियल परत की एकरूपता में सुधार होता है।

लेमिनर गैस प्रवाह क्षेत्र डिजाइन: निरंतर प्रौद्योगिकी पुनरावृत्ति और उन्नयन के बाद, हमारे MOCVD हीटर सतह चिकनाई (Ra ≤ 0.8μm) और ज्यामिति अनुकूलन प्रतिक्रियाशील गैसों के समान वितरण को सुनिश्चित करता है और अशांति के कारण जमाव की असमानता को कम करता है।

तकनीकी पैरामीटर तुलना और लाभ

सेमिक्सलैब क्यों?

अनुकूलन: सेमीक्सलैब अपने ग्राहकों को अनुकूलित उत्पाद और तकनीकी सेवाएँ प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम उपकरण की विभिन्न आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए गैर-मानक आकारों (360 मिमी व्यास तक) और कोटिंग मोटाई (20-500μm) के अनुकूलन का समर्थन करते हैं।

वैश्विक प्रमाणन: हमारा SiC लेपित ग्रेफाइट हीटर अर्ध-अनुपालक, ISO 9001 प्रमाणित है, और हमारे उत्पादों को मुख्य रूप से यूरोप और संयुक्त राज्य अमेरिका, साथ ही जापान और दक्षिण कोरिया में निर्यात किया जाता है, जिसमें महत्वपूर्ण मूल्य/प्रदर्शन लाभ है।

तकनीकी तालमेल: सेमीक्सलैब ने लंबे समय से चीन के शीर्ष अनुसंधान संस्थानों के साथ घनिष्ठ सहयोग बनाए रखा है, तथा कोटिंग घनत्व और तापीय आघात प्रतिरोध को अनुकूलित करने के लिए पेटेंट कोटिंग प्रौद्योगिकियों (जैसे कि CGT कार्बन की SiC3 प्रक्रिया) का उपयोग किया है।