टैंटलम कार्बाइड TaC लेपित आवरण

टैंटलम कार्बाइड (TaC) लेपित आवरणों के अग्रणी चीनी निर्माता के रूप में, सेमिक्सलैब की TaC लेपित आवरण प्लेटें उन्नत अर्धचालक एपिटैक्सियल वृद्धि वातावरणों के लिए डिज़ाइन की गई हैं। इन वातावरणों में, तापमान, रासायनिक स्थिरता और संदूषण नियंत्रण उपकरण उत्पादन को निर्धारित करने वाले महत्वपूर्ण कारक हैं। ये लेपित आवरण विशेष रूप से Si, SiC और GaN एपिटैक्सियल रिएक्टरों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जो प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर एक महत्वपूर्ण सीलिंग और परिरक्षण परत के रूप में कार्य करते हैं, आंतरिक सतहों को संक्षारण और कणिकीय संदूषण से बचाते हैं।

Si/SiC/GaN एपिटैक्सी जैसी सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल वृद्धि के लिए अत्यंत कठिन प्रक्रिया परिस्थितियों में दोषरहित पतली फिल्मों का निर्माण आवश्यक होता है। हाइड्रोजन, क्लोरीन-आधारित गैसें, अमोनिया और हाइड्रोकार्बन प्रीकर्सर 1500°C से अधिक तापमान पर लगातार चैंबरों में प्रतिक्रिया करते रहते हैं। इस रासायनिक और ऊष्मीय तनाव के कारण पारंपरिक चैंबर लाइनिंग तेजी से खराब हो जाती हैं, जिससे कणों का झड़ना, धातु संदूषण और निवारक रखरखाव अंतराल में कमी आती है। हमारे TaC लेपित आवरण, अपने अति उच्च गलनांक (लगभग 3880°C), बेहतर प्लाज्मा और रासायनिक प्रतिरोध और सघन, कम छिद्रयुक्त कोटिंग संरचना के साथ, सतह पर होने वाली प्रतिक्रिया के अवशेषों को प्रभावी ढंग से दबाते हैं। यह एक स्वच्छ चैंबर आंतरिक भाग सुनिश्चित करता है, जिससे कण, सतह पर गड्ढे और वेफर पर स्टैकिंग दोष प्रसार जैसी दोष निर्माण प्रक्रियाओं में कमी आती है।

एपिटैक्सियल रिएक्टरों में, थर्मल एकरूपता और गैस प्रवाह स्थिरता वेफर-टू-वेफर स्थिरता के लिए मूलभूत हैं। संरचनात्मक अखंडता और गैर-प्रतिक्रियाशील सीमा सतहों को बनाए रखकर, TaC लेपित आवरण चैम्बर की समरूपता और थर्मल संतुलन बनाए रखने में मदद करते हैं, जिससे कई वेफर्स में एक समान एपिटैक्सियल परत वृद्धि और डोपेंट समावेशन सुनिश्चित होता है। संदूषण को कम करके और सेवा जीवन को बढ़ाकर, फैब्स महत्वपूर्ण परिचालन लाभ प्राप्त कर सकते हैं: कम डाउनटाइम, स्वामित्व की कुल लागत में कमी, उपकरण अपटाइम का अनुकूलन और बेहतर प्रक्रिया नियंत्रण।

सेमिक्सलैब के टांकलूम कार्बाइड कोटिंग कवर उन्नत सीवीडी टैंटलम कार्बाइड कोटिंग डिपोजिशन तकनीक, माइक्रोस्ट्रक्चर आसंजन नियंत्रण और सटीक मापन का उपयोग करके निर्मित किए जाते हैं, ताकि कोटिंग की अखंडता, मोटाई की एकरूपता और थर्मल शॉक प्रतिरोध सुनिश्चित हो सके। इन सुरक्षात्मक कवरों को भट्टियों, एमओसीवीडी, एलपीसीवीडी और ऊर्ध्वाधर एसआईसी/एसआई एपिटैक्सियल प्लेटफॉर्म के लिए अनुकूलित किया जा सकता है। हम चीन में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए हार्दिक रूप से तत्पर हैं।