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सेमीकंडक्टर सॉफ्ट ग्रेफाइट फेल्ट
ग्रेफाइट कार्बन फेल्ट
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सेमीकंडक्टर सॉफ्ट ग्रेफाइट फेल्ट


सेमिक्सलैब सेमीकंडक्टर सॉफ्ट ग्रेफाइट फेल्ट एक उच्च शुद्धता वाला, उच्च तापमान प्रतिरोधी थर्मल इन्सुलेशन पदार्थ है जिसे विशेष रूप से अत्यधिक ऊष्मीय परिस्थितियों में संचालित होने वाली स्थिर और ऊर्जा-कुशल सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह पदार्थ उन्नत भट्टी और रिएक्टर प्रणालियों के लिए उपयुक्त है और सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) एकल क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियाओं, उच्च तापमान प्रसार, एनीलिंग और सिंटरिंग प्रक्रियाओं, साथ ही SiC और GaN एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं जैसे विभिन्न उच्च तापमान सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों में उपयोगी है। यह ऊष्मीय क्षेत्र स्थिरता बनाए रखने, ऊष्मा हानि को कम करने और उपकरणों की सुरक्षा में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। हम आपकी पूछताछ का स्वागत करते हैं।

विवरण

सेमीकंडक्टर सॉफ्ट ग्रेफाइट फेल्ट एक उच्च शुद्धता वाला, उच्च तापमान प्रतिरोधी थर्मल मैनेजमेंट मटेरियल है जिसे विशेष रूप से अत्यधिक ऊष्मीय परिस्थितियों में सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। उन्नत सेमीकंडक्टर उपकरणों में, विशेष रूप से सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) क्रिस्टल वृद्धि, एपिटैक्सी और उच्च तापमान ताप उपचार के लिए उपयोग किए जाने वाले उपकरणों में, थर्मल वातावरण का सटीक नियंत्रण प्रक्रिया के प्रदर्शन और मटेरियल की गुणवत्ता के लिए महत्वपूर्ण है। सेमिक्सलैब का सॉफ्ट ग्रेफाइट फेल्ट इन चुनौतीपूर्ण प्रणालियों में मुख्य थर्मल इन्सुलेशन और थर्मल फील्ड स्थिरीकरण मटेरियल के रूप में कार्य करता है।

SiC एकल क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियाओं जैसे कि भौतिक वाष्प परिवहन (PVT) में, ग्रेफाइट फेल्ट भट्टी के तापीय क्षेत्र को स्थिर करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। ग्रेफाइट फेल्ट क्रूसिबल और तापन क्षेत्रों के चारों ओर एक इन्सुलेटिंग और बफरिंग परत के रूप में कार्य करता है, जिससे वृद्धि कक्ष के भीतर तापमान प्रवणता को सुचारू करते हुए त्रिज्या और अक्षीय ऊष्मा हानि को कम किया जा सकता है। यह नियंत्रित तापीय वातावरण स्थिर उर्ध्वपातन-पुनर्क्रिस्टलीकरण संतुलन बनाए रखने के लिए आवश्यक है, जो क्रिस्टल वृद्धि दर, दोष घनत्व और दीर्घकालिक वृद्धि स्थिरता को सीधे प्रभावित करता है। ग्रेफाइट सॉफ्ट फेल्ट की नरम और आसानी से ढाली जा सकने वाली संरचना जटिल भट्टी ज्यामितियों के लिए सटीक अनुकूलन को सक्षम बनाती है, जिससे विस्तारित वृद्धि चक्रों के दौरान दोहराव योग्य तापीय स्थितियाँ प्राप्त होती हैं।

सेमीकंडक्टर निर्माण में आम तौर पर इस्तेमाल होने वाली उच्च तापमान प्रसार, एनीलिंग और सिंटरिंग प्रक्रियाओं के लिए, सेमीकंडक्टर सॉफ्ट ग्रेफाइट फेल्ट एक विश्वसनीय थर्मल इन्सुलेशन माध्यम के रूप में कार्य करता है, जो बार-बार होने वाले थर्मल चक्रण के दौरान संरचनात्मक अखंडता को बनाए रखता है। आमतौर पर 2000 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान पर निर्वात या अक्रिय वातावरण में काम करते हुए, सॉफ्ट इन्सुलेशन भट्टी के खोल से ऊष्मा हानि को कम करता है, ऊर्जा दक्षता बढ़ाता है और प्रक्रिया क्षेत्र के भीतर समान तापमान वितरण को बढ़ावा देता है। इसकी कम थर्मल चालकता और उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध उपकरण और संसाधित सामग्रियों पर तनाव को कम करता है, जिससे लगातार परिणाम सुनिश्चित होते हैं और उपकरणों का जीवनकाल बढ़ता है।

SiC और GaN एपिटैक्सी प्रक्रियाओं में, एपिटैक्सियल रिएक्टर आमतौर पर उच्च तापमान पर काम करते हैं, जिसके लिए अत्यधिक स्थिर परिस्थितियों की आवश्यकता होती है। ग्रेफाइट सॉफ्ट फेल्ट रिएक्टर घटकों के भीतर ऊष्मीय स्थिरता और पर्यावरणीय अलगाव को बढ़ाता है। आंतरिक इन्सुलेशन और थर्मल बफर सामग्री के रूप में, यह समान तापमान वितरण को बढ़ावा देता है और बाहरी ऊष्मीय हस्तक्षेप को कम करता है, जिससे अप्रत्यक्ष रूप से एपिटैक्सियल परत की एकरूपता और प्रक्रिया की पुनरावृत्ति में सुधार होता है। सेमिक्सलैब के ग्रेफाइट फेल्ट की उच्च शुद्धता इन वातावरणों में विशेष रूप से महत्वपूर्ण है, क्योंकि यह स्वच्छ प्रक्रिया स्थितियों को बनाए रखने में मदद करता है और अनजाने संदूषण के जोखिम को कम करता है जो एपिटैक्सियल फिल्म की गुणवत्ता को प्रभावित कर सकता है।

सेमिक्सलैब का सेमीकंडक्टर सॉफ्ट ग्रेफाइट फेल्ट प्रीमियम कार्बन प्रीकर्सर सामग्रियों और सटीक निर्माण प्रक्रियाओं से निर्मित है, जो उच्च तापमान प्रतिरोध, कम तापीय चालकता और असाधारण यांत्रिक लचीलेपन का संयोजन प्रदान करता है। ये गुण चुनौतीपूर्ण सेमीकंडक्टर निर्माण वातावरण में दीर्घकालिक स्थिर संचालन को सक्षम बनाते हैं, साथ ही आसान स्थापना, निर्माण और विभिन्न भट्टियों और रिएक्टर डिज़ाइनों में सहज एकीकरण की सुविधा भी प्रदान करते हैं। उन्नत सेमीकंडक्टर सामग्रियों और थर्मल समाधानों में सेमिक्सलैब की विशेषज्ञता का लाभ उठाते हुए, यह उत्पाद उच्च तापमान सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं के लिए एक अनिवार्य आधारभूत सामग्री के रूप में कार्य करता है। साथ ही, सेमिक्सलैब वैश्विक ग्राहकों को पेशेवर तकनीकी परामर्श और अनुकूलित उत्पाद समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम चीन के सेमीकंडक्टर उद्योग में थर्मल इन्सुलेशन और थर्मल फील्ड स्थिरीकरण सामग्रियों के लिए आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।

विशेष विवरण
सॉफ्ट ग्रेफाइट फेल्ट के लिए डेटा शीट
सूची इकाई XF-C श्रृंखला सॉफ्ट फेल्ट
XF-008 XF-013
रेयान आधारित पैन आधारित
घनत्व जी / सेमी3 0.08-0.11 0.12-0.14
संपीड़न ताकत एमपीए / /
(1000℃) / तापीय चालकता डब्ल्यू/एमके 0.15 0.24
राख (शुद्धिकरण से पहले) पीपीएम ≤ 200 ≤ 500
प्रसंस्करण तापमान 2400 ℃ 2400 ℃
अधिकतम सेवा तापमान 3000 ℃ 3000 ℃
आयाम mm चौड़ाई: ≤1600, मोटाई: 5-10
आवेदन फोटोवोल्टिक, अर्धचालक, सिंटरिंग भट्ठी, धातुकर्म भट्ठी
उपरोक्त मानक उत्पादों के लिए है। यदि अति-उच्च शुद्धता वाले उत्पादों की आवश्यकता है, तो उन्हें ≤20ppm तक शुद्ध करने की आवश्यकता है।
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