उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज प्रसार ट्यूब

सेमीक्सलैब उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज डिफ्यूजन ट्यूब विशेष रूप से अर्धचालक विनिर्माण में उच्च तापमान थर्मल प्रक्रियाओं के लिए इंजीनियर है, जिसमें ऑक्सीकरण, डोपेंट डिफ्यूजन और एनीलिंग शामिल हैं।

अति-उच्च शुद्धता वाले फ्यूज़्ड सिलिका (≥99.99% SiO₂) से निर्मित, प्रत्येक ट्यूब को असाधारण रासायनिक स्थिरता, न्यूनतम संदूषण और सटीक तापीय एकरूपता प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है - जिससे क्लीनरूम वातावरण की मांग में सुसंगत वेफर प्रसंस्करण परिणाम सुनिश्चित होते हैं।

चाहे ऊर्ध्वाधर या क्षैतिज प्रसार भट्टियों में एकीकृत किया जाए, सेमीक्सलैब की क्वार्ट्ज ट्यूबें सटीकता से बनाई जाती हैं और आईसी, एलईडी, एमईएमएस और पावर डिवाइस फैब्रिकेशन की कठोर आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए पूरी तरह से परीक्षण की जाती हैं।

अर्धचालक प्रक्रियाओं में अनुप्रयोग

1. ऊष्मीय ऑक्सीकरण

थर्मल ऑक्सीकरण भट्टियों में, क्वार्ट्ज प्रसार ट्यूब प्राथमिक प्रतिक्रिया कक्ष के रूप में कार्य करते हैं जहां सिलिकॉन वेफर्स को ऊंचे तापमान (900-1150 डिग्री सेल्सियस) पर O₂ या H₂O वाष्प के संपर्क में लाया जाता है।

● एकसमान SiO₂ वृद्धि के लिए स्वच्छ और स्थिर ऑक्सीजन वातावरण प्रदान करता है।

● धातु आयन संदूषण को समाप्त करता है, गेट और अलगाव ऑक्साइड के लिए उच्च ढांकता हुआ अखंडता सुनिश्चित करता है।

उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज प्रसार ट्यूब वेफर प्रसंस्करण के लिए आदर्श है

2. डोपेंट विसरण

क्वार्ट्ज प्रसार ट्यूबों का उपयोग डोपेंट परमाणुओं (जैसे फास्फोरस या बोरोन) को सिलिकॉन सब्सट्रेट में फैलाने के लिए किया जाता है, जिससे वांछित जंक्शन प्रोफाइल बनाई जा सके।

● उत्कृष्ट रासायनिक निष्क्रियता POCl₃ या BBr₃ प्रतिक्रियाओं के दौरान संदूषण को रोकती है।

● हैलोजन आधारित वातावरण में भी उच्च शुद्धता बनाए रखता है।

3. एनीलिंग और ड्राइव-इन प्रक्रियाएं

आयन आरोपण या निक्षेपण के बाद, वेफर्स को डोपेंट को सक्रिय करने और जाली क्षति की मरम्मत करने के लिए उच्च तापमान तापानुशीतन से गुजरना पड़ता है।

● क्वार्ट्ज ट्यूब स्थिर और पुनरुत्पादनीय परिणामों के लिए एक समान तापीय, कम संदूषण कक्ष प्रदान करते हैं।

● N₂ और गैस एनीलिंग वातावरण दोनों के लिए उपयुक्त।

4. एलपीसीवीडी और अनुसंधान एवं विकास थर्मल प्रसंस्करण

छोटे पैमाने के एल.पी.सी.वी.डी. या अनुसंधान भट्टियों में, क्वार्ट्ज प्रसार ट्यूब प्रतिक्रिया और रोकथाम कक्ष दोनों के रूप में काम कर सकते हैं।

● पॉलीसिलिकॉन, सिलिकॉन नाइट्राइड और ऑक्साइड फिल्मों के जमाव के लिए आदर्श।

● कम कण निर्माण और रन में उच्च पुनरावृत्ति सुनिश्चित करता है।

सेमीक्सलैब के लाभ

1. सामग्री की शुद्धता और पता लगाने योग्यता

प्रत्येक क्वार्ट्ज़ ट्यूब प्रमाणित आपूर्तिकर्ताओं से प्राप्त अति-शुद्ध फ़्यूज़्ड सिलिका से बनी है। आईसीपी-एमएस विश्लेषण रिपोर्ट अनुरोध पर उपलब्ध हैं, जो प्रत्येक बैच की ट्रेसेबिलिटी की गारंटी देती हैं।

2. सटीक विनिर्माण और अनुकूलन

सेमीक्सलैब ग्राहकों द्वारा अपेक्षित विशिष्ट भट्ठी आयाम, थर्मल प्रोफाइल और गैस प्रवाह पैटर्न को पूरा करने के लिए अनुकूलित डिजाइन प्रदान करता है।

विकल्प शामिल हैं:

● ऊर्ध्वाधर या क्षैतिज ट्यूब विन्यास

● अनुकूलित व्यास, दीवार की मोटाई और अंतिम फ्लैंज

● पॉलिश या नक्काशीदार सतह खत्म

● मल्टी-वेफर कैरियर्स के लिए विशेष हैंडलिंग डिज़ाइन

3. कठोर परीक्षण और गुणवत्ता आश्वासन

शिपमेंट से पहले प्रत्येक डिफ्यूज़न ट्यूब का आयामी निरीक्षण, सतह अखंडता परीक्षण और तापीय तनाव सिमुलेशन किया जाता है। यह उद्योग-अग्रणी डिफ्यूज़न फर्नेस प्रणालियों जैसे TEL, कोकुसाई, सेंट्रोथर्म और ASM के साथ संगतता सुनिश्चित करता है।