SiC क्रिस्टल सीड बॉन्डिंग के लिए वैक्यूम हॉट प्रेसिंग फर्नेस

बीज क्रिस्टल बंधन, क्रिस्टल वृद्धि को प्रभावित करने वाली महत्वपूर्ण प्रक्रियाओं में से एक है। बीज क्रिस्टल बंधन की विशेषताओं के आधार पर, सेमिक्सलैब ने बीज क्रिस्टल बंधन के लिए विशेष वैक्यूम हॉट-प्रेस उपकरण विकसित किया है। यह उपकरण बंधन प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न होने वाले विभिन्न दोषों को प्रभावी ढंग से कम करता है, जिससे बीज क्रिस्टल बंधन की उपज और क्रिस्टल की अंतिम गुणवत्ता में सुधार होता है।

Ⅰ. सीड क्रिस्टल बॉन्डिंग वैक्यूम हॉट प्रेस उपकरण का परिचय

1. SiC क्रिस्टल वृद्धि से पहले बीज क्रिस्टल बंधन के लिए उपयोग किया जाता है;

2. बंधित बीज 2300 डिग्री सेल्सियस पर बिना अलग हुए आसंजन बनाए रखते हैं, जिससे उच्च समतलता और अशुद्धता अवशोषण से मुक्त स्वच्छ वेफर सतहों के साथ 100% बुलबुला-मुक्त बंधन प्राप्त होता है;

3. हीटिंग ट्रे डिस्क-प्रकार की प्रतिरोध हीटिंग का उपयोग करती है, जो समान तापमान वितरण, सुरक्षित संचालन और उपयोगकर्ता के अनुकूल हैंडलिंग सुनिश्चित करती है;

4. ट्रे के नीचे लगे प्रेशर सेंसर, वर्कपीस पर लगाए गए दबाव को सटीक रूप से प्रदर्शित करते हैं।

II. सीड क्रिस्टल वैक्यूम हॉट प्रेस उपकरण का कार्यात्मक अवलोकन

सेमिक्सलैब सीड क्रिस्टल वैक्यूम हॉट प्रेस फर्नेस को सिलिकॉन कार्बाइड सीड क्रिस्टल की वैक्यूम-सहायता प्राप्त हॉट प्रेसिंग के लिए डिज़ाइन किया गया है।

1. दोहरी परत वाला जल-शीतित धातु कक्ष भट्टी की सतह के तापमान को प्रभावी ढंग से कम करता है, उच्च तापमान के खतरों को कम करता है और पर्यावरणीय प्रभाव को कम करता है;

2. स्वचालित नियंत्रण के साथ स्वचालित दबाव अनुप्रयोग और धारण, क्रमिक लोडिंग और विस्थापन में सक्षम;

3. विभिन्न प्रकार के वैक्यूम सिस्टम कॉन्फ़िगरेशन प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर विभिन्न वैक्यूम स्तरों के चयन की अनुमति देते हैं;

4. समान दबाव वितरण और उच्च तापमान नियंत्रण परिशुद्धता;

5. दबाव अनुप्रयोग सटीक, स्थिर दबाव वितरण के लिए परिशुद्ध यांत्रिक थ्रस्ट तंत्र का उपयोग करता है, जो सुरक्षित संचालन और पर्यावरणीय अनुकूलता सुनिश्चित करता है;

6. ऊपरी प्रेस हेड और थ्रस्ट रॉड के बीच यूनिवर्सल जॉइंट कनेक्शन प्रेसिंग के दौरान ऊपरी हेड और निचली ट्रे के बीच अनुकूली समानांतरता की गारंटी देता है, जिससे समान दबाव वितरण सुनिश्चित होता है;

7. ऊपरी प्रेस हेड में बिना झटके के सुचारू और कोमल बल प्रदान करने के लिए कुशनिंग प्रेशर एप्लिकेशन शामिल है, जिससे वर्कपीस के टूटने को रोका जा सकता है;

8. ऊष्मा स्थानांतरण प्लेट में एकीकृत तापमान सेंसर तापमान नियंत्रक के साथ इंटरफेस करते हैं, जिससे सटीक तापन तापमान और प्रोग्रामेटिक नियंत्रण संभव हो पाता है;

9. ऊष्मा हानि को कम करने के लिए पैलेट और ऊपरी प्रेस हेड दोनों में इन्सुलेशन उपकरण लगे होते हैं।

Ⅲ. सेमिक्सलैब सीड क्रिस्टल वैक्यूम हॉट प्रेसिंग उपकरण का प्रदर्शन और विशेषताएं

1. नियंत्रित पंपिंग दर के साथ क्रमिक वैक्यूम निष्कर्षण;

2. पर्याप्त अपग्रेड संभावनाओं के लिए बड़ा कक्ष;

3. स्वचालित संचालन के साथ स्थिर प्रेस हेड;

4. स्वचालित दबाव ढलान और नुस्खा विनियमन के साथ दबाव रैंपिंग और रिलीज नियंत्रण;

5. प्रोग्राम करने योग्य तापमान और दबाव चक्रों के साथ सटीक तापमान नियंत्रण;

6. विभिन्न बॉन्डिंग प्रक्रियाओं के लिए अनुकूलित वैक्यूम, दबाव और तापमान पैरामीटर;

7. बिना बुलबुले के सघन बंधन;

8. अत्यंत निम्न टूटने की दर—उपकरण के कारण लगभग कोई फ्रैक्चर नहीं होता;

9. अनुकूलता: 6-12 इंच के वेफर्स को सपोर्ट करता है;

10. अधिकतम नीचे की ओर दबाव: 1.6 टन;

11. परम निर्वात: 5 पा (ठंडा);

12. Heating platform temperature uniformity: <±3℃, σ<4 (at 200℃);

13. Pressure fluctuation: <0.5%.

बीज बंधन के लिए गर्म दबाव भट्टी के मापदंड